3 микрометра Взаимодействующие электроды IDE Монокристаллический кремниевый расп

1. Подложка: монокристаллический кремний P-типа с толщиной 300 нм SiO2 на поверхности кремниевой пластины. Размер подложки составляет 6 мм х 4 мм х 0,52 мм. Структура слоя проводника: Cr / Au, толщина 10 нм и 100 нм соответственно. 2. Ширина линии: 5um; Пространство линии: 3um; Длина пальца: 1500 мкм; Количество встречных пар: 150 (300 пальцев). 3. Большие прокладки, поэтому склеивание и пайка легко. Этот продукт может быть использован в качестве основной части биологических, медицинских и оптических датчиков.