Элионная технология в микро- и наноиндустрии

Элионная технология в микро- и наноиндустрии
sku: 30826473
588.00 руб.
Shipping from: Russia
   Description
В учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной плазмы для микро- и наноразмерных устройств с улучшенными характеристиками. Цель данного пособия – формирование современных представлений и достижений в области микро- и наноиндустрии.
   Technical Details
age: 0
author: Аскер Кушхов
genres_list: 5763,6351
lang: ru
publisher: МИСиС
Type: book
year: 2008
Форматы: PDF
   Price history chart & currency exchange rate

Customers also viewed