Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
sku: 2842331
2,089.00 руб.
Shipping from: Russia
   Description
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве.Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».
   Technical Details
age: 12
binding: Твердый переплёт
ISBN: 9785811457885
page_extent: 220
publisher: Лань
series: Высшее образование. Лань
Type: book
Weight: 0.609
year: 2021
   Price history chart & currency exchange rate

Customers also viewed