Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие

Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие
Инфра-Инженерия
sku: 696791
1,657.00 руб.
Shipping from: Russia
   Description
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях.
Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 "Электроника, радиотехника и системы связи", а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
   Technical Details
author: Родионов Юрий Анатольевич
ISBN: 978-5-9729-0337-5
year: 2019
   Price history chart & currency exchange rate

Customers also viewed