Введение в современную микро- и наносистемную технику. Учебное пособие

Введение в современную микро- и наносистемную технику. Учебное пособие
Инфра-Инженерия
sku: 971204
1,750.00 руб.-14%
1,508.00 руб.
Shipping from: Russia
   Description
Раскрыто основное содержание понятий «микросистема» и «микросистемная техника». В порядке общего ознакомления рассмотрены вопросы проектирования, изготовления и экспериментальной верификации микросистем. Представлен кремний как основной материал современной электроники. Дано последовательное описание технологии производства монокристаллического кремния и изготовления кремниевых пластин. Представлено современное микроэлектронное производство и применяемые на нем стандартные технологические операции. Сделан вывод о применении описанных технологий для изготовления микро- и наносистемной техники.
Для студентов, обучающихся по программам подготовки 12.04.01 «Приборостроение» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника», для колледжей микроэлектронного направления и широкого круга читателей.
   Technical Details
author: Гридчин Александр Викторович
ISBN: 978-5-9729-1613-9
year: 2024
   Price history chart & currency exchange rate

Customers also viewed