Междисциплинарные электроды Массив конденсаторный прецизионный кремниевый чип монокристаллический кремниевый золотой электрод 3um

1. Общий размер: 4 мм * 4,3 мм. 2. Ширина линии: 5um, пространство строки: 3um. 3. Электродной подложкой является монокристаллический кремний с толщиной 300 нм SiO2 на поверхности кремниевой пластины. 4. Структура слоя проводника: Cr / Au, толщина 10 нм и 100 нм соответственно. 5. Подходящая температура для использования от - 100 градусов по Цельсию до +400 градусов по Цельсию. 6. Сопротивление электрода составляет более 100 Ом (комнатная температура, влажность 64%).