Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
sku: 45273511
649.00 руб.
Shipping from: Russia
Description
Тенденции развития современной технологии электронной техники заключаются в увеличении степени интеграции изделий на поверхности подложек, что связано как с увеличением диаметра применяемых в производстве подложек, так и с уменьшением геометрических размеров элементов изделий на их поверхности до 0,01-0,04 мкм. Для технологии изготовления изделий с микро- и наноэлементами использование ВЧ разряда индуктивно связанной плазмы (ICP) как плазмообразующего источника предоставляет большие преимущества. В частности, с его помощью достигают высокую плотность плазмы (10 11 –10 12 см –3 ), минимальный разброс ионов по энергиям (Δei ≤ 5 эВ), относительно низкое рабочее давление (10 –2 ÷ 10 –1 Па) и низкую энергетическую цену иона (30÷80) эВ/ион. Благодаря отсутствию накаливаемых узлов источник ICP обладает большим ресурсом работы с химически активными газами. Особенно важно, что он предоставляет возможность независимого управления энергией и плотностью потока ионов, поступающих на подложку. Успехи в конструировании источников ЮР для целей микроэлектроники побудили разработчиков оборудования применить их и в других отраслях, например в азотировании стальных деталей, обработке полимерных пленок и нанесении специальных покрытий методами PVD и PECVD. За последнее десятилетие источники ICP нашли широкое промышленное применение, о котором появилось большое количество новой информации. Поэтому назрела необходимость составления обзора, цель которого – систематизация основных экспериментальных результатов разработки и применения источников ICP. В книге приведено описание принципов действия, особенностей и преимуществ источников ICP и рассмотрены многочисленные варианты конструкций современных источников ICP Приведены также примеры технологических применений описываемых источников для нанесения тонких пленок: в процессах PVD и PECVD. И кроме того, описано формирование плазмохимическим травлением трехмерных структур в различных материалах и двумерных структур в тонких пленках и связанное с такой обработкой существенное изменение свойств поверхностей различных материалов, в особенности полупроводников. Таким образом, настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по конструкциям и применению источников ICP Книга рассчитана на студентов, аспирантов, конструкторов нового технологического оборудования, использующего источники ICP, и технологов, работающих на таком оборудовании. Конструкторы найдут в ней обзор способов достижения высоких параметров источников ICP, а технологи ознакомятся с широким спектром их применения и полученных с их помощью достижений. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.
Technical Details
age: | 0 |
author: | Л. А. Сейдман |
genres_list: | 5311,55135,60285,115905,138002,200550 |
ISBN: | 978-5-94836-519-0 |
litres_isbn: | 978-5-04-195799-5 |
publisher: | Техносфера |
Type: | book |
year: | 2018 |
Форматы: |
Price history chart & currency exchange rate
Customers also viewed
27%
~ 356.00 руб.
Детские Образовательные научные и технологические изобретения липа наука и образование механические головоломки игрушки
aliexpress.com+4%
16%
~ 1,700.00 руб.
Модель двигателя Стирлинга, научный эксперимент, физический эксперимент, модель генератора, наука и образование
aliexpress.com+3%
13%
~ 1,270.00 руб.
Ветряная мельница на солнечной батарее, вращающаяся модель вентилятора, головоломка «сделай сам», сборная игрушка, наука и образование окружающей среды
aliexpress.com+4%
12%
~ 1,770.00 руб.
Модель двигателя Стирлинга, научный эксперимент, физический эксперимент, модель генератора, наука и образование
aliexpress.com+2%
9%
~ 1,160.00 руб.
Техническая майка, мужские поворотные столы, Детский обучающий их хорошо, виниловый DJ, все рукава S40
aliexpress.com+3%
8%
~ 1,270.00 руб.
Сделай Сам, раскопки, геология, динозавр, ископаемый набор, скелет, модель, наука, головоломка, образование, добыча, разведка, подарок, игрушки для детей
aliexpress.com-8%
7%
~ 1,180.00 руб.
Сделай сам, раскопки, archeology, 5-в-1, динозавр, Пиратский Набор, модель, наука, головоломка, образование, добыча, разведка, подарок, игрушки для детей
aliexpress.com+1%
5%
~ 1,220.00 руб.
Детская модель 1200 раз, студенческий научный эксперимент, головоломка, наука и образование, набор игрушек
aliexpress.com+3%
4%
~ 413.00 руб.
Жестяной знак Dreer's Flower-веселый мир образование наука информационная комната жестяной знак отличные ретро подарки и декоративные дверные стены S
aliexpress.com+1%
3%
~ 1,190.00 руб.
FBIL-детская модель 1200 раз студенческий научный эксперимент головоломка наука и образование набор игрушек
aliexpress.com+2%
2%
~ 306.00 руб.
Детская имитация копания кости динозавр яйца Приключения сюрприз наука раннее образование игрушка для малышей Забавный подарок для детей
aliexpress.com+1%
1%
~ 1,580.00 руб.
Новинка, 278 шт., техническая серия, модульная сельскохозяйственная модель грузовика, креативные идеи «сделай сам», детская игрушка, подарок на день рождения, технологические блоки
aliexpress.com+3%
1%
~ 277.00 руб.
Подарки Обучающие игрушки раннее образование наука и природный солнце медведь модель зоопарк имитация диких животных реалистичный бруйн
aliexpress.com+3%
1%
~ 1,010.00 руб.
Детская модель 1200 раз, студенческий научный эксперимент, головоломка, наука и образование, набор игрушек
aliexpress.com+3%
1%
~ 1,780.00 руб.
Солнечные игрушки, космический автомобиль, детские развивающие игрушки, технологические научные наборы, кроме солнечной энергии, марсоход, наука, подарки своими руками, детские игрушки
aliexpress.com+12%
1%
~ 1,240.00 руб.
Детская модель 1200 раз, студенческий научный эксперимент, головоломка, наука и образование, набор игрушек
aliexpress.com+3%
1%
~ 1,620.00 руб.
Каменная горная солнечная система, восемь планет, исследование, образование, наука, археология, Обучающие игрушки, педагогические игрушки
aliexpress.com+3%
1%
~ 1,720.00 руб.
Модель двигателя Стирлинга, научный эксперимент, физический эксперимент, модель генератора, наука и образование
aliexpress.com+2%
1%
~ 875.00 руб.
Имитация Луны, плюшевая подушка, космическая планета, наука и образование, реквизит, искусственная круглая декоративная подушка, удобная
aliexpress.com+2%
1%
~ 278.00 руб.
Физика Эксперимент Элементы Кубики Наука Образование Блок Кубики плотности металла Металлические элементы плотности гравитации
aliexpress.com+1%
1%
~ 1,930.00 руб.
Модель двигателя Стирлинга, научный эксперимент, физический эксперимент, модель генератора, наука и образование
aliexpress.com+3%
1%
~ 1,520.00 руб.
Новая игрушка-пазл с солнечной системой, астронавт, Солнечная планета, наука и образование, креативная детская игрушка для развития интеллекта
aliexpress.com+1%
1%
~ 1,910.00 руб.
Модель двигателя Стирлинга, научный эксперимент, физический эксперимент, модель генератора, наука и образование
aliexpress.com-8%
1%
~ 269.00 руб.
Железный куб, наука, образование, блоки плотности, элементы плотности гравитации, блоки D5QC
aliexpress.com+3%
1%
~ 1,160.00 руб.
Пульт дистанционного управления башенный кран подъемный кран Diy модели и строительные игрушки наука и образование модель игрушки для детей подарочная игрушка
aliexpress.com+3%
1%
~ 1,110.00 руб.
Детская модель 1200 раз, студенческий научный эксперимент, головоломка, наука и образование, набор игрушек
aliexpress.com+1%
1%
~ 1,930.00 руб.
Модель двигателя Стирлинга, научный эксперимент, физический эксперимент, модель генератора, наука и образование
aliexpress.com+2%
1%
~ 195.00 руб.
3D игрушка Mirascope оптическая голограмма изображение Наука Образование волшебная игрушка подарок для детей
aliexpress.com+2%
1%
~ 310.00 руб.
Яркая модель птицы в режиме полета фигурка орла животное для коллекции бутиков наука образование игрушка для студентов класс
aliexpress.com+1%
1%
~ 1,690.00 руб.
Модель двигателя Стирлинга, научный эксперимент, физический эксперимент, модель генератора, наука и образование
aliexpress.com-9%
1%
~ 46,360.00 руб.
Healthy Care Sunlion Portable Robotic Rehabilitation Therapy Equipment Robotic Hand Rehabilitation for Stroke Patient
aliexpress.com+1%
1%
~ 2,730.00 руб.
20190 japan anime 3d hoodies new short sleeve fashion summer t-shirt cool and breathable short sleeve t-shirt kpop casual, White;black
dhgate.com+1%
1%
~ 75,200.00 руб.
Huio Kam 16(2021) support smooth transition two modes drawing graphics tablet pen display
aliexpress.com